對(duì)于傳統(tǒng)的激光器制造商而言,光束質(zhì)量分析已經(jīng)成為標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)。激光束的品質(zhì)由以下參數(shù)定義:衍射限倍數(shù)因子M2,或者它的倒數(shù)K因子。
M2或K因子給出了激光光束聚焦能力的理論測(cè)量方法,這對(duì)評(píng)價(jià)不同應(yīng)用領(lǐng)域的光束好壞非常重要。M2因子其物理實(shí)質(zhì)是激光光束與標(biāo)準(zhǔn)基模高斯光束(TEM00)進(jìn)行比較,反映實(shí)際激光光束與基模高斯光束的接近程度。理想的M2=1,實(shí)際測(cè)量的M2越趨近1,說明激光的聚焦能力越強(qiáng)。
以色列Ophir公司收購(gòu)了美國(guó)spiricon公司(面陣式光束質(zhì)量分析儀)和美國(guó)photon公司(狹縫掃描式光束質(zhì)量分析儀),為激光M2分析提供了多種不同的儀器,可以只對(duì)不同的激光器。目前業(yè)內(nèi)的絕大多數(shù)激光器,Ophir都可以提供相應(yīng)的解決方案。
M2測(cè)量原理圖示
Spiricon公司M2-200s自動(dòng)M2分析儀具有如下特點(diǎn)(面陣式光束質(zhì)量分析儀)
1.測(cè)量速度快,2分鐘內(nèi)完成M2測(cè)量;
2.*符合ISO測(cè)量標(biāo)準(zhǔn);
3.采用的Ultracal基線校準(zhǔn)技術(shù),可獲得zui為的測(cè)量數(shù)據(jù);
4.提供自動(dòng)衰減調(diào)節(jié),使測(cè)量更加方便;
5.適用于連續(xù)和脈沖激光測(cè)量;
6.采用折疊式鏡腔設(shè)計(jì),保證儀器體積小巧,使用方便.
Spiricon公司推出的M2-200s自動(dòng)M2分析儀是*一款符合ISO標(biāo)準(zhǔn)的M2測(cè)量設(shè)備,保持著在該領(lǐng)域的。測(cè)量過程中,固定的透鏡和高速的自動(dòng)光學(xué)導(dǎo)軌使得相機(jī)可以快速的采集到從近場(chǎng)到遠(yuǎn)場(chǎng)多個(gè)位置的激光光斑,測(cè)量、傳輸以及激光功率衰減全部由軟件自動(dòng)控制。
M2-200s在工作過程中造束腰透鏡和相機(jī)位置固定,通過兩片反光鏡在光學(xué)導(dǎo)軌上的自動(dòng)移動(dòng),相機(jī)就可以的捕捉到從近場(chǎng)到遠(yuǎn)場(chǎng)不同位置的激光光斑,再通過軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)分析與計(jì)算,從而得到M2值、發(fā)散角、束腰大小等參數(shù)。
Spiricon采用了的Ultracal基線校準(zhǔn)技術(shù),從而可以有效去除環(huán)境噪聲,得到zui為準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)。
Photon公司的NanoModeScan,具有以下特點(diǎn)(狹縫掃描式光束質(zhì)量分析儀):
1.可對(duì)大功率激光光束進(jìn)行M2分析,而不需太多的衰減設(shè)備;
2.全自動(dòng)分析;
3.配置NanoScan 2 USB接口探頭和NanoScan V2光束分析軟件,在測(cè)量M2的同時(shí)可以對(duì)光斑進(jìn)行光斑大小、峰值中心、幾何中心等參數(shù)進(jìn)行分析;
4.配置導(dǎo)軌、200mm和400mm焦距束腰生成鏡.