由于真空紫外及軟X-RAY 與可見光及紅外波段在很多光學傳輸性質(zhì)上的不同，比如，需要真空環(huán)境，很低的反射率，無合適的“透明”折射率材料，成像困難，與物質(zhì)相互作用時，表現(xiàn)出高能粒子的特性，少有衍射 等等。 由于其以上的種種特性，在其光譜儀的設(shè)計上，一般需要遵循盡量減少光路中的反射元件，以及采取掠入射等原則。